高精度振镜扫描光电流测试系统为微纳器件(尤其是片上光电器件)的光电响应测试提供了优良的测试平台,纳米级逐点扫描模式精确表征片上微纳器件的空间光电响应特性;实时观察空间各点的电压、电流输出;逐点测试I-V特征曲线;可根据客户需求定制化产品,比如扩展低温、光谱测试等功能。
基本配置参数:
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电学测试盒
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包括:测试盒,测试座,测试线,28针。
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光电测试配置
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前置放大器,锁相放大器
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样品台
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四维度。XYZ三轴平移,行程13 mm,分辨率1 um。 θ旋转,粗调360°微调±7°,最小读数0.2°,分辨率0.01°
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振镜扫描
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扫描步进精度<20nm, 扫描范围>100um
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显微镜
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20X,50X,100X
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激光器
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532nm,光纤输出,激光控制器,可任意添加其他波段激光
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环境
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可做暗室屏蔽
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软件
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基于Labview编写,全自动扫描,实时结果显示。可根据客户需求升级软件功能。
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其他选配功能
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(1)低温(77K),分为简易版(77K,不可变温),中配版(液氮制冷,可变温),高配版(液氦制冷,可变温,台式闭循环/循环流恒温器)
(2)源表I-V测量(mapping),实现器件的I-V测量,
(3)光谱测试,配备光谱仪,可进行样品空间扫描荧光测试。
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测试结果展示:

应用领域:
微纳器件的光电响应测试,包括:石墨烯,二维材料,微纳半导体材料,有机材料等制备的光电器件表征。